除滲碳淬火外，
行星減速機齒輪還可采用多種表面硬化工藝，需根據性能需求與成本綜合選型。
一是高頻感應淬火，通過高頻電流加熱齒輪表面（加熱深度 0.5-2mm），冷卻后實現局部硬化，優點是加熱速度快（幾秒至幾十秒）、變形小，適合對齒面硬度要求較高但心部需韌性的齒輪，缺點是滲層較淺，不適用于高負載場景。二是氮碳共滲，在 500-580℃下將氮、碳原子滲入齒輪表面，形成硬度高（HV800-1200）的化合物層，優點是變形極小（幾乎無變形）、耐腐蝕性好，適合精密齒輪，但承載能力低于滲碳淬火，多用于輕載、耐腐蝕需求的場景（如食品行業機器人）。
三是滲硼處理，在 800-950℃下將硼原子滲入表面，形成高硬度硼化物層（HV1800-2500），耐磨性極強，但脆性大、易開裂，僅適用于低沖擊、高磨損的特殊工況。對比來看，滲碳淬火因滲層深、承載能力強，仍是工業機器人高負載關節齒輪的首選；高頻感應淬火適合中等負載的協作機器人齒輪；氮碳共滲則在精密、低負載場景更具優勢。
